マイクロケーブルエアーヒーター(三重管)
マイクロケーブルエアーヒーターは、マイクロヒーターを特殊な形状に加工して、SUSのパイプに挿入し組み込んだ製品で、空気・窒素ガス等を加熱するのに最適です。
この製品は半導体製造分野をはじめとして、各産業分野で使用されています。
特長
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MCA-500E
形状
標準仕様
| 型番 | MCA-500E |
|---|---|
| 定格 | 200V 500W |
| 絶縁抵抗 | DC500V 5MΩ以上 |
| 絶縁耐力 | AC400V 1分間 検出電流10mA |
| 最高使用温度 | 500℃（内蔵熱電対にて） |
| 吹出先端部温度 | 温度特性グラフ参照 |
| 流量 | 20Nℓ/min〜100Nℓ/min |
| 使用気体圧力 | 0.3MPa（3kgf/cm2）まで可能 |
| 材質 | SUS製(筐体 / フレキヒーター / シース熱電対) |
| 匡体寸法 | φ48.6×全長156mm |
| 被加熱物 | 空気、不活性ガス等 |
| ヒーターリード線 | 500mm(切りっぱなし) |
| 熱電対 | K タイプ（接地型）、補償導線2000mm(M4用Y端子付き) |
※規格品以外にもご使用用途に合わせて製作いたします。
温度特性
MCA-1000E
形状
標準仕様
| 型番 | MCA-1000E |
|---|---|
| 定格 | 200V 1KW |
| 絶縁抵抗 | DC500V 5MΩ以上 |
| 絶縁耐力 | AC400V 1分間 検出電流10mA |
| 最高使用温度 | 500℃（内蔵熱電対にて） |
| 吹出先端部温度 | 温度特性グラフ参照 |
| 流量 | 20Nℓ/min〜200Nℓ/min |
| 使用気体圧力 | 0.3MPa（3kgf/cm2）まで可能 |
| 材質 | SUS製(筐体 / フレキヒーター / シース熱電対) |
| 匡体寸法 | φ60.5×全長291.5mm(フランジ含む) |
| 被加熱物 | 空気、不活性ガス等 |
| ヒーターリード線 | 500mm(切りっぱなし) |
| 熱電対 | K タイプ（接地型）、補償導線2000mm(M4用Y端子付き) |
※規格品以外にもご使用用途に合わせて製作いたします。
温度特性
MCA-1500E
形状
標準仕様
| 型番 | MCA-1500E |
|---|---|
| 定格 | 200V 1.5KW |
| 絶縁抵抗 | DC500V 5MΩ以上 |
| 絶縁耐力 | AC400V 1分間 検出電流10mA |
| 最高使用温度 | 500℃（内蔵熱電対にて） |
| 吹出先端部温度 | 温度特性グラフ参照 |
| 流量 | 20Nℓ/min〜200Nℓ/min |
| 使用気体圧力 | 0.3MPa（3kgf/cm2）まで可能 |
| 材質 | SUS製(筐体 / フレキヒーター / シース熱電対) |
| 匡体寸法 | φ60.5×全長291.5mm(フランジ含む) |
| 被加熱物 | 空気、不活性ガス等 |
| ヒーターリード線 | 500mm(切りっぱなし) |
| 熱電対 | K タイプ（接地型）、補償導線2000mm(M4用Y端子付き) |
※規格品以外にもご使用用途に合わせて製作いたします。
温度特性
