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卓上型 ExLASER®(エックス・レーザー)

世界最先端のヒーティングシステム「レーザー平面瞬間加熱装置ExLASER®(エックス・レーザー)に、卓上型タイプが誕生。 コンパクト設計により、研究・試験等、様々なシーンで利用できます。

特長

  • 卓上型サイズのコンパクト設計
  • 加熱部・制御部が一体型のため、卓上試験が可能
  • レーザー加熱のため、大気中でも直接加熱が可能
  • 低電力で高ワット密度を実現(※)
  • 真空加熱が必要な場合、オプションでチャンバーの増設が可能

(※) ワット密度:34W/㎠ (ε=0.9)

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基本性能一例

1/2インチ径ウェハー加熱時
(500W 10秒後850℃以上 20秒で100℃以下)

ステージ上にワーク設置 レーザー加熱イメージ

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製品仕様一例

定格 AC100V 15A以内
レーザ出力 最大50W 
加熱雰囲気 大気
加熱面積 φ 13mm
ワークステージ φ 60mm(MAX)
本体サイズ H580mm×W320mm×D470mm
装備品 放射温度計、USBカメラ、パソコン

※透明基板は直接加熱できません

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