卓上型 ExLASER®(エックス・レーザー)
世界最先端のヒーティングシステム「レーザー平面瞬間加熱装置ExLASER®(エックス・レーザー)に、卓上型タイプが誕生。 コンパクト設計により、研究・試験等、様々なシーンで利用できます。
特長
(※) ワット密度：34W/㎠ (ε=0.9)
商品に関するお問い合わせ、オーダーメイドなど各種お見積り依頼やお問い合わせはこちらからお気軽にどうぞ。
工業用・産業用ヒーターのことなら坂口電熱株式会社 > 製品情報 > レーザー平面瞬間加熱装置 > 卓上型 ExLASER®(エックス・レーザー)
基本性能一例
 |
| 1/2インチ径ウェハー加熱時 （500W 10秒後850℃以上 20秒で100℃以下） |
 |
 |
| ステージ上にワーク設置 | レーザー加熱イメージ |
製品仕様一例
| 定格 | AC100V 15A以内 |
|---|---|
| レーザ出力 | 最大50W |
| 加熱雰囲気 | 大気 |
| 加熱面積 | φ 13mm |
| ワークステージ | φ 60mm(MAX) |
| 本体サイズ | H580mm×W320mm×D470mm |
| 装備品 | 放射温度計、USBカメラ、パソコン |
※透明基板は直接加熱できません
