原⼦レベルアンチエイリアス熱処理ミニマル装置（ミニマルレーザ水素アニール装置）

＜シリコン微細構造の原子レベルでの平滑化と丸め制御により、様々な分野・用途におけるMEMSデバイスの高性能・高信頼性を実現！＞
東北大学 金森義明教授発明のAtomic-Antialiasing Annealing(AAA)技術を用いた水素雰囲気アニールによる立体構造の平滑化と丸め制御新技術を、H30～R2年度サポイン事業により東北大・産総研・ミニマルファブ推進機構との共同開発で製品化しました。