マイクロケーブルエアーヒーター Nシリーズ
マイクロケーブルエアーヒーターは、マイクロヒーターを特殊な形状に加工して、SUSのパイプに挿入し組み込んだ製品で、空気・窒素ガス等を加熱するのに最適です。
この製品は半導体製造分野をはじめとして、各産業分野で使用されています。

特長

商品に関するお問い合わせ、オーダーメイドなど各種お見積り依頼やお問い合わせはこちらからお気軽にどうぞ。
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マイクロケーブルエアーヒーターは、マイクロヒーターを特殊な形状に加工して、SUSのパイプに挿入し組み込んだ製品で、空気・窒素ガス等を加熱するのに最適です。
この製品は半導体製造分野をはじめとして、各産業分野で使用されています。



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| 型番 | MCA500N |
|---|---|
| 定格 | 200V 500W |
| 絶縁抵抗 | DC500V 5MΩ以上 |
| 絶縁耐圧 | AC400V/1分間 検出電流10mA |
| 最高使用温度 | 500℃(内蔵熱電対にて) |
| 使用気体圧力 | 0.3MPa(3kgf/cm²)まで可能 |
| 材質 | SUS316製(ヒーターシース・シース熱電対)、SUS304製(筐体) |
| 被加熱物 | 空気、不活性ガス等 |
| 流量 | 20NL/min~100NL/min |
| 吹出先先端部温度 | 温度特性グラフ参照 |
| 出入口継手 | PT3/8 |
| ヒーターリード線 | 500mm(切りっぱなし) |
| 熱電対 | K タイプ(接地型)、補償導線2000mm(M4用Y端子付き) |
※規格品以外にもご使用用途に合わせて製作いたします。

※AC200V 定格、内蔵熱電対にて500℃制御した場合の吹出温度です。
※吹出口に熱電対固定ソケットを取付けて測定した実測データですので参考値となります。

| 型番 | MCA1000N |
|---|---|
| 定格 | 200V 1000W |
| 絶縁抵抗 | DC500V 5MΩ以上 |
| 絶縁耐圧 | AC400V/1分間 検出電流10mA |
| 最高使用温度 | 500℃(内蔵熱電対にて) |
| 使用気体圧力 | 0.3MPa(3kgf/cm²)まで可能 |
| 材質 | SUS316製(ヒーターシース・シース熱電対)、SUS304製(筐体) |
| 被加熱物 | 空気、不活性ガス等 |
| 流量 | 60NL/min ~ 500NL/min |
| 吹出先先端部温度 | 温度特性グラフ参照 |
| 出入口継手 | PT3/4 |
| ヒーターリード線 | 500mm(切りっぱなし) |
| 熱電対 | K タイプ(接地型)、補償導線2000mm(M4用Y端子付き) |
※規格品以外にもご使用用途に合わせて製作いたします。

※AC200V 定格、内蔵熱電対にて500℃制御した場合の吹出温度です。
※吹出口に熱電対固定ソケットを取付けて測定した実測データですので参考値となります。

| 型番 | MCA1500N |
|---|---|
| 定格 | 200V 1500W |
| 絶縁抵抗 | DC500V 5MΩ以上 |
| 絶縁耐圧 | AC400V/1分間 検出電流10mA |
| 最高使用温度 | 500℃(内蔵熱電対にて) |
| 使用気体圧力 | 0.3MPa(3kgf/cm²)まで可能 |
| 材質 | SUS316製(ヒーターシース・シース熱電対)、SUS304製(筐体) |
| 被加熱物 | 空気、不活性ガス等 |
| 流量 | 60NL/min ~ 500NL/min |
| 吹出先先端部温度 | 温度特性グラフ参照 |
| 出入口継手 | PT3/4 |
| ヒーターリード線 | 500mm(切りっぱなし) |
| 熱電対 | K タイプ(接地型)、補償導線2000mm(M4用Y端子付き) |
※規格品以外にもご使用用途に合わせて製作いたします。

※AC200V 定格、内蔵熱電対にて500℃制御した場合の吹出温度です。
※吹出口に熱電対固定ソケットを取付けて測定した実測データですので参考値となります。

| 型番 | MCA3P3000N |
|---|---|
| 定格 | 三相 200V 3000W |
| 絶縁抵抗 | DC500V 5MΩ以上 |
| 絶縁耐圧 | AC400V/1分間 検出電流10mA |
| 最高使用温度 | 500℃(内蔵熱電対にて) |
| 使用気体圧力 | 0.3MPa(3kgf/cm²)まで可能 |
| 材質 | SUS316製(ヒーターシース・シース熱電対)、SUS304製(筐体) |
| 被加熱物 | 空気、不活性ガス等 |
| 流量 | 100NL/min ~ 1000NL/min |
| 吹出先先端部温度 | 温度特性グラフ参照 |
| 出入口継手 | PT1 |
| ヒーターリード線 | 500mm(切りっぱなし) |
| 熱電対 | K タイプ(接地型)、補償導線2000mm(M4用Y端子付き) |
※規格品以外にもご使用用途に合わせて製作いたします。

※AC200V 定格、内蔵熱電対にて500℃制御した場合の吹出温度です。
※吹出口に熱電対固定ソケットを取付けて測定した実測データですので参考値となります。

| 型番 | MCA3P5000N |
|---|---|
| 定格 | 三相 200V 5000W |
| 絶縁抵抗 | DC500V 5MΩ以上 |
| 絶縁耐圧 | AC400V/1分間 検出電流10mA |
| 最高使用温度 | 500℃(内蔵熱電対にて) |
| 使用気体圧力 | 0.3MPa(3kgf/cm²)まで可能 |
| 材質 | SUS316製(ヒーターシース・シース熱電対)、SUS304製(筐体) |
| 被加熱物 | 空気、不活性ガス等 |
| 流量 | 200NL/min ~ 1500NL/min |
| 吹出先先端部温度 | 温度特性グラフ参照 |
| 出入口継手 | PT1 |
| ヒーターリード線 | 500mm(切りっぱなし) |
| 熱電対 | K タイプ(接地型)、補償導線2000mm(M4用Y端子付き) |
※規格品以外にもご使用用途に合わせて製作いたします。

※AC200V 定格、内蔵熱電対にて500℃制御した場合の吹出温度です。
※吹出口に熱電対固定ソケットを取付けて測定した実測データですので参考値となります。