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POCO SUPER SiC ダミーウェハー

POCOのSUPER SiCダミーウェハーは、高純度で緻密性に優れたニューカーボンを『コンバージョン製法』によって、SiCに転化させた次世代製品です。

特長

  • 耐熱、耐食性に優れ、ウェーハプロセスでの繰り返し使用ができます。

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材料特性

密度
(g/cm3
熱膨張係数
(X10-6/℃)
熱伝導率
(W/M-度K)
曲げ強度
(Mpa)
ヤング率
(Mpa)
スロット表面仕上げ
(Raμm)
2.56 4.9 44.1 120 2×105 0.41

仕様

ウェハー径4"(100mm)5"(125mm)6"(150mm)8"(200mm)12"(300mm)
ウェハー厚さ 0.533mm
0.633mm
0.635mm 0.635mm
0.637mm
0.724mm 0.775mm
外周部加工 ①スタンダード  ②エッジコート  ③全コート(ラウンドエッジ)
表面コート ①SiCコートなし  ②SiCコ-ト
オリフラ ①オリフラなし  ②オリフラ付き

耐食性


洗浄液に対する重量減少率の比較
弗硝酸洗浄液(HF:NO3:H2O=1:1:1)

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