工業用・産業用ヒーターのことなら坂口電熱株式会社 > 製品情報 > 電熱材料・周辺機器他 > POCO製品 > POCO FABMATE「ファブメイト」 | 製品情報
ファブメイト「FABMATE」は、ポコグラファイト社が開発した製品で、超高純度のカーボンをグラファイト化して所定の形状に精密加工し、その表面にアモルファス・カーボントリートメントを施したものです。
同処理により本来持っている特性が一段と向上しており、寿命はクォーツの10倍以上になり、これらの特性を活かして、半導体製造におけるケージボードやタワーボードに使用されています。
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| GRADES | DFP-1 | DFP-2 | DFP-3 | |
|---|---|---|---|---|
| 強度（常温） | 圧縮（kg/cm2） | 1,500 | ||
| 曲げ（kg/cm2） | 900 | |||
| 引張（kg/cm2） | 700 | |||
| 硬度 | 77 | |||
| 平均粒子径（μm） | ＜4 | |||
| 抵抗率（21℃）（μΩcm) | 1,350 | |||
| 熱伝導率（21℃）(kcal/mh℃) | 104 | |||
| 熱膨張係数(RT-1000℃)（×10h-6h/℃） | 8.4 | |||
| 平均細孔径（μm） | 0.8 | 0.8 | 0.3 | |
| 平均密度（g/cm2） | 1.82 | 1.82 | 1.86 | |
| 酸化開始（℃） | 460 | 510 | 470 | |
| ppm-total ash | 700 | ＜5 | 700 | |
| 雰囲気 | O2 | CO2 | Ｈ2 | Ｎ2 | Ar |
|---|---|---|---|---|---|
| 最高使用温度 | 510℃ | 750℃ | 1,100℃ | 1,500℃ | 2,500℃ |
