POCO SUPER SiC

SUPER SiCは、POCO社が開発したSiCで、焼結SiCと異なり、焼結剤などのバインダーは一切使用していません。
高純度のカーボンを化学反応にてSiCに転化していますので、パーティクルやコンタミネーションが非常に少なく半導体製造時のキャリア等に多く使用されています。

特長

100%ピュアなSiC製品
POCO社の高純度ニューカーボン母材を独自のコンバージョン製法によっていSiCに転化しているためいかなる使用条件下でも不純物が発生しません。
強酸に強い構造
クォーツとは異なり、強酸の洗浄中で使用しても浸食されません。容積安定性に優れているためコストパフォーマンスにも貢献しています。
高精度の機械加工が可能
機械加工された母材をSiCに転化するため、複雑な形状のシリコンカーバイト製品が製作できます。
パーティクル及びコンタミネーションを抑制
パーティクルが付着しやすく、剥がれにくい構造になっています。そのためパーティクルは＞0.5μmについて50%以上＜0.5μmについて10％以上低減できます。金属のコンタミネーションも大幅に抑えることができます。
1900℃の高温使用が可能
SUPERSiCは、特定の環境下（窒素雰囲気、アルゴン雰囲気、ヘリウム雰囲気）で、1900℃の高温使用が可能です。

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密度	熱膨張係数	熱伝導率
2.56g/cm³	4.9×10^-6/℃	44.1w/m･K

ウエハーサイズ	横型キャリアー	縦型キャリアー	ダミーウエハー
100mm（4"）	○	－	○
125mm（5"）	○	－	○
150mm（6"）	○	○	○
200mm（8"）	○	○	○
300mm（12"）	－	－	○