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Transparent Quartz Products（石英加工品）

気泡がほとんどない透明石英管ガラスを使用して、各用途に合わせた石英加工品の製作を行っています。

特長

全品受注生産品です。
透明石英は天然水晶を用い、酸水素溶解にて製造したインゴットで、気泡がほとんどなく、高純度、耐熱性、耐酸性、絶縁性に優れています。
半導体プロセスでの酸化拡散工程で使用される熱処理用炉心管やウェハーボードをはじめクォーツバスや各種石英加工品に使用されています。

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用途

縦型・横型半導体ウェハーボード
ウェハーカセット
クォーツバス
ヒーターサポート
各種加工品

参考特性

石英加工品の性能

光透過率(10mm透過距離)

**製作可能サイズ**
長方形			円形
幅	厚さ	長さ	外径	内径	長さ
500mm	170mm	-	350mm	-	2200mm

**化学分析表：（含有率）**
成分	微量分子	成分	微量分子
Al	17	Ca	0.8
Cr	< 0.01	Cu	0.01
Fe	0.2	K	0.5
Li	0.7	Mg	0.05
Mn	0.02	Na	0.7
Nd	< 0.01	Ti	1.1
Y	< 0.01	Zr	0.01
OH^-	170

特性
物理特性		熱特性
比重	2.2g/cm³	歪点	1090℃
曲げ強度	69kgPa	アニール温度	1190℃
せん断強度	69kgPa	変異点	1730℃
圧縮強度	> 1100kgPa
ヤング率	73GPa
剛性率	31GPa

石英加工品例

写真をクリックすると大きな画像が表示されます。

半導体酸化・拡散プロセス用ウェーハボード			ウェーハカセット	ウェーハチャック
横型ボード	12inch縦型ボード	8inch縦型ボード
石英カバー	クランプリング	クォーツバス	ヒーターサポート	石英品加工例

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