POCO製品

ファブメイト「FABMATE」は、ポコグラファイト社が開発した製品で、超高純度のカーボンをグラファイト化して所定の形状に精密加工し、その表面にアモルファス・カーボントリートメントを施したものです。
同処理により本来持っている特性が一段と向上しており、寿命はクォーツの10倍以上になり、これらの特性を活かして、半導体製造におけるケージボードやタワーボードに使用されています。

SUPER SiCは、POCO社が開発したSiCで、焼結SiCと異なり、焼結剤などのバインダーは一切使用していません。
高純度のカーボンを化学反応にてSiCに転化していますので、パーティクルやコンタミネーションが非常に少なく半導体製造時のキャリア等に多く使用されています。

POCOのSUPER SiCダミーウェハーは、高純度で緻密性に優れたニューカーボンを『コンバージョン製法』によって、SiCに転化させた次世代製品です。

POCOのEDM（放電加工用）グラファイト材は、粒子が小さく、均一で等方性に優れ、 硬度も他のグラファイトと比べ柔らかいため、クラックを生じにくく、微細加工に適しております。また、グラファイト特有の加工速度や耐摩耗性も併せ持つ高精度なグラファイトです。