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POCO製品

当社のPOCO製品をご紹介します。
下記の製品カテゴリから各製品の基本情報およびPDFカタログ、関連情報などがご覧いただけます。

POCO SUPER SiC ダミーウェハー

POCOのSUPER SiCダミーウェハーは、高純度で緻密性に優れたニューカーボンを『コンバージョン製法』によって、SiCに転化させた次世代製品です。

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POCO製品

POCO FABMATE「ファブメイト」 | 製品情報

ファブメイト「FABMATE」は、ポコグラファイト社が開発した製品で、超高純度のカーボンをグラファイト化して所定の形状に精密加工し、その表面にアモルファス・カーボントリートメントを施したものです。
同処理により本来持っている特性が一段と向上しており、寿命はクォーツの10倍以上になり、これらの特性を活かして、半導体製造におけるケージボードやタワーボードに使用されています。

POCO SUPER SiC

SUPER SiCは、POCO社が開発したSiCで、焼結SiCと異なり、焼結剤などのバインダーは一切使用していません。
高純度のカーボンを化学反応にてSiCに転化していますので、パーティクルやコンタミネーションが非常に少なく半導体製造時のキャリア等に多く使用されています。

POCO SUPER SiC ダミーウェハー

POCOのSUPER SiCダミーウェハーは、高純度で緻密性に優れたニューカーボンを『コンバージョン製法』によって、SiCに転化させた次世代製品です。