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ExLASER Lite®(エックス・レーザー ライト)

レーザー平面加熱装置「エックス・レーザー」にコンパクト設計・小面積加熱を実現した「ライト」が新登場!

特長

  • 従来のExLASERに比べコンパクト設計。
  • 小面積(φ0.5インチ)・1ショット加熱を実現。
  • ワイドラック収納一体型。キャスター付きで移動が可能。
  • もちろん操作も簡単。
  • 従来機同様に超高速な昇温降温を実現。
  • 被加熱対象物のみへの直接加熱。雰囲気を加熱しません。

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レーザー加熱実験

ExLASER-lite(ELL-CT-050-FC13)で真空チャンバー中に設置した試料をレーザー加熱。試料の裏面(レーザー照射面と反対側)から温度分布を測定した。

実験データ

0.5インチ径×0.3t シリコン基板を真空中10-3Paで加熱。

温度分布

昇降温データ

(0.5インチ径×0.3t シリコン基板 真空中10-3Pa)

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標準仕様

型番:ELL-CT-050-FC13
レーザ照射方式 ファイバータイプ 本体サイズ H 1420mm ×W 655mm ×D 660mm
レーザ出力 最大50W (CW) 装備品 放射温度計
真空チャンバー装備(内径 φ 107mm)
TMP装備(10-6Pa台)
基板ホルダー(φ 12.7mm用)
レーザ波長 808nm
レーザ形状 円形
光学系(均一度) ±10%以内(ノーマル光学系)
※ホモジナイザ光学系はオプション
定格 AC100V 10A
加熱面積 φ 13mm 備考 ワイドラック収納一体型
ガス導入可能
ワークディスタンス 150mm

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オプション ※ご要望に応じて製作させていただきます

  • ホモジナイザ光学系
    ・加熱面積 φ 13mm
    ・均一度 ±5%以内
    ・ワークディスタンス ~300mm
  • 温度制御ユニット
    ・デジタル指示調節計
    ・赤外線透過窓

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カタログ

こちらからExLASER Lite®のカタログ(PDF)をご覧いただけます。

カタログ(PDF)日本語
カタログ(PDF)English

 

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