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ミニマルレーザ水素アニール装置

平成30年度 戦略的基盤技術高度化支援事業(サポイン事業)採択。
東北大学 金森義明教授・産総研・(一社)ミニマルファブ推進機構との共同開発。水素アニール技術を基盤とした新技術を搭載。

特長

  • φ12.5mmウェハ(枚葉処理)
  • コンパクトな筐体(幅約30cm)
  • クリーンルーム不要
  • 低消費電力(定格AC100V 10A)
  • 超高真空対応(5 × 10 -5 Pa 以下)
  • 急速昇降温(1100℃まで2.5秒)
  • 安定した温度制御(1100℃±0.5℃)
  • 均一温度分布(ばらつき(σ/Ave.)0.5%)

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