熱電対（T/C）付ウェハー

半導体製造装置、および付帯装置の開発・検査での温度分布を測定するため、熱電対を取り付けたウェハーです。

特長

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熱電対（T/C）
種類	Ｋタイプ、Ｒタイプ、他
シース仕様	0.25mm以上
素線仕様	0.10mm以上
T/C数	必要測定ポイント数対応
絶縁材	ガラス繊維、シリグラス繊維、石英ビーズ、フッ素樹脂チューブ、他
端末	専用コネクターなど、ご要望に合わせます。

注意
1）熱電対の先端取付部は2.5N（0.25kgf）1本以上の力をかけないでください。
2）還元ガス・酸化性ガス雰囲気でのご使用は、予め材質の耐用性をご確認ください。