ExLASER® は多機能型レーザー平面瞬間加熱装置です。
レーザー平面瞬間加熱装置
当社のレーザー平面瞬間加熱装置をご紹介します。
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<シリコン微細構造の原子レベルでの平滑化と丸め制御により、様々な分野・用途におけるMEMSデバイスの高性能・高信頼性を実現!>
東北大学 金森義明教授発明のAtomic-Antialiasing Annealing(AAA)技術を用いた水素雰囲気アニールによる立体構造の平滑化と丸め制御新技術を、H30~R2年度サポイン事業により東北大・産総研・ミニマルファブ推進機構との共同開発で製品化しました。
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