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レーザー平面瞬間加熱装置

当社のレーザー平面瞬間加熱装置をご紹介します。
下記の製品カテゴリから各製品の基本情報およびPDFカタログ、関連情報などがご覧いただけます。

ミニマルレーザ水素アニール装置

<シリコン微細構造の原子レベルでの平滑化と丸め制御により、様々な分野・用途におけるMEMSデバイスの高性能・高信頼性を実現!>
東北大学 金森義明教授発明のAtomic-Antialiasing Annealing(AAA)技術を用いた水素雰囲気アニールによる立体構造の平滑化と丸め制御新技術を、H30~R2年度サポイン事業により東北大・産総研・ミニマルファブ推進機構との共同開発で製品化しました。

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レーザー平面瞬間加熱装置

ExLASER®(エックス・レーザー)

ExLASER® は多機能型レーザー平面瞬間加熱装置です。

ExLASER Lite®(エックス・レーザー ライト)

レーザー平面加熱装置「エックス・レーザー」にコンパクト設計・小面積加熱を実現した「ライト」が新登場!

卓上型 ExLASER®(エックス・レーザー)

世界最先端のヒーティングシステム「レーザー平面瞬間加熱装置ExLASER®(エックス・レーザー)に、卓上型タイプが誕生。 コンパクト設計により、研究・試験等、様々なシーンで利用できます。

ExLASER®(エックス・レーザー)シリーズ ワークテスト承ります!

ExLASER® は多機能型レーザー平面瞬間加熱装置です。

ミニマルレーザ水素アニール装置

<シリコン微細構造の原子レベルでの平滑化と丸め制御により、様々な分野・用途におけるMEMSデバイスの高性能・高信頼性を実現!>
東北大学 金森義明教授発明のAtomic-Antialiasing Annealing(AAA)技術を用いた水素雰囲気アニールによる立体構造の平滑化と丸め制御新技術を、H30~R2年度サポイン事業により東北大・産総研・ミニマルファブ推進機構との共同開発で製品化しました。